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Mems and Microsystems: Design, Manufacture, and Nanoscale Engineering
Aktuell und didaktisch ausgereift, bietet der Band Anwendern und fortgeschrittenen Studierenden einen ausgezeichneten Zugang zu den Themenbereichen MEMS und Mikrosysteme. Ber�cksichtigt werden sowohl Aspekte der Elektrik und Elektronik als auch die mechanische Seite der MEMS.
576 pages, ebook
First published March 17, 2008
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December 22, 2017TO GET KNOWLEDGE
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